有較高的放大倍數(shù)，一般在20-20萬倍之間連續(xù)可調(diào)。

 

　　有很大的景深，視野大，成像富有立體感。

 

　　試樣制備簡單。

 

　　對樣品表面的形貌、組成、性質(zhì)的了解均有較好的適應(yīng)性。

 

　　掃描電鏡在醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體科學(xué)、生物學(xué)、地質(zhì)學(xué)、化學(xué)等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用價(jià)值。

 

　　掃描電鏡的樣品不需要進(jìn)行切片處理。

 

　　掃描電鏡的維護(hù)主要有以下幾個(gè)方面：

 

　　電子槍的維護(hù)：在實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，關(guān)閉電子槍，可延長電子槍的壽命。冷場發(fā)射掃描電鏡電子槍需要定時(shí)短暫加熱針尖至2500K，以去除所吸附的氣體原子。

 

　　物鏡光闌的維護(hù)：掃描電鏡物鏡的光闌離樣品最近，工作狀態(tài)下光闌處于加熱狀態(tài)，再關(guān)掉光闌后需要冷卻半小時(shí)才可以關(guān)掉冷卻循環(huán)水。光闌使用一段時(shí)間后容易結(jié)碳，影響成像的效果，此時(shí)要及時(shí)要打開樣品室，清潔光闌。

 

　　樣品的制備要求：由于掃描電鏡的高真空系統(tǒng)，樣品進(jìn)入交換室之前要仔細(xì)檢查，確保沒有易揮發(fā)的物質(zhì)及未粘牢的粉末，破換樣品室的真空度。

 

　　送樣桿和交換室的清潔：掃描電鏡送樣桿和交換室在換樣品時(shí)經(jīng)常暴露在大氣中，容易受到灰塵的污染，降低真空密閉效果，因此要及時(shí)清結(jié)，以防把灰塵帶到樣品室的真空系統(tǒng)中污染光闌。

 

　　機(jī)械泵的維護(hù)：經(jīng)常檢查掃描電鏡機(jī)械泵的油液面，看其液面是否在窗口油位刻線的水平上，若在窗口油位刻線的水平下，應(yīng)馬上添加機(jī)械泵油，如果觀察到機(jī)械泵窗口油顏色變深，應(yīng)馬上更換機(jī)械泵油。若機(jī)械泵出現(xiàn)故障要及時(shí)修理，并換上備用泵，以保證真空度。

 

　　循環(huán)水的維護(hù)：定期檢查掃描電鏡循環(huán)水狀況，水位低于警戒線，應(yīng)馬上添加純凈水，若循環(huán)水混濁變質(zhì)，應(yīng)馬上更換循環(huán)水，防止循環(huán)系統(tǒng)堵塞和結(jié)垢，影響水循環(huán)系統(tǒng)的工作效率。

 

　　掃描電鏡的樣品制備過程簡單，不用切成超薄切片，能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu)，可以從各種角度對樣品進(jìn)行觀察，景深大，圖像富有立體感，而且圖像的放大范圍廣，分辨率也比較高。